اختبار تحميل فرن العربة والتحقق الوظيفي

في العملية الدقيقة لتصنيع أشباه الموصلات ، تعد الأفران معدات أساسية ، ويؤثر أدائها بشكل مباشر على جودة الرقاقة وكفاءة الإنتاج. لضمان أن تكون أفران أشباه الموصلات دائمًا في حالة عمل مثالية ، يرجى النظر بعناية في تعليمات الصيانة اليومية الشاملة التالية.

1. التنظيف العميق لمنع مخاطر التلوث

التنظيف الداخلي: بعد كل استخدام ، انتظر الفرن ليبرد تمامًا ثم امسح الجزء الداخلي بقطعة قماش مجانية- ونظافة مخصصة. يتطلب إنتاج أشباه الموصلات معايير نظافة عالية للغاية ، لذلك إيلاء اهتمام خاص للزوايا والشقوق عند التنظيف لمنع الجزيئات من تجميع وتلويث الرقائق. بالنسبة للبقع العنيدة ، تجنب التنظيف القاسي واستخدم بدلاً من ذلك منظفًا خفيفًا للمسح مرارًا وتكرارًا. شطف بالماء منزوع الأيونات وتجف جيدًا بعد التنظيف.

التنظيف الخارجي: امسح الفرن الخارجي بانتظام بقطعة قماش نظيفة ورطبة لإزالة الغبار والبقع. تجنب استخدام عمال النظافة المسببة للتآكل لمنع الأضرار التي لحقت بالطلاء الخارجي وتسوية جماليات المعدات وخصائص الحماية. أيضا ، فحص محيط المعدات لضمان عدم وجود تراكم الغبار والحفاظ على تهوية جيدة.

2. التفتيش التفصيلي وصيانة المكونات الرئيسية

نظام التدفئة: فحص عنصر التدفئة أسبوعيًا للحصول على علامات الأكسدة والأضرار. إذا لاحظت أي بقع سوداء أو تشققات على سطح أنبوب التدفئة ، استبدله على الفور لمنع التدفئة غير المتكافئة التي قد تؤثر على تجفيف الرقائق. بالإضافة إلى ذلك ، تحقق من محطات نظام التدفئة للحصول على اتصالات فضفاضة لضمان اتصالات كهربائية مستقرة ومنع أعطال أو مخاطر السلامة الناجمة عن سوء التلامس.

القناة المروحة والهواء: تحقق بانتظام من عملية المروحة ، والاستماع إلى أي ضوضاء غير عادية ، وتفقد شفرات المروحة لتشوه أو تراكم الغبار. يمكن أن يؤثر تراكم الغبار على كفاءة تداول الهواء الساخن ويؤدي إلى درجات حرارة غير متساوية داخل الغرفة. قم بتنظيف الشفرات بعناية والداخلية من المروحة بالهواء المضغوط. أيضًا ، تحقق من القناة الجوية للتدفق دون عائق وإزالة أي حطام لضمان الدورة الدموية الساخنة وفعالة داخل الغرفة.

شرائط الختم: تتطلب أفران أشباه الموصلات ختم صارم. تحقق من شرائح إغلاق الباب يوميًا للشيخوخة أو التشوه أو الضرر. يمكن أن تؤدي الشقوق أو فقدان المرونة إلى درجة حرارة ورطوبة غير مستقرة داخل الغرفة وقد تؤدي إلى إدخال الملوثات. استبدل الشرائط على الفور لضمان ختم جيد.

ثالثا. معايرة دقيقة لضمان معلمات مستقرة

معايرة درجة الحرارة والرطوبة: استخدم مستشعر درجة الحرارة والرطوبة العالية - لمعايرة درجة الحرارة الداخلية للفرن والرطوبة شهريًا. يتطلب إنتاج أشباه الموصلات دقة درجة حرارة ورطوبة عالية للغاية ، وحتى أدنى انحراف يمكن أن يؤثر على أداء الرقاقة. أثناء المعايرة ، إذا كانت قيم درجة الحرارة والرطوبة المعروضة تنحرف عن القيم الفعلية التي تتجاوز النطاق المسموح به ، فيجب تعديل معلمات التحكم في درجة حرارة الفرن والرطوبة على الفور ، ويجب تسجيل بيانات المعايرة للتحليل اللاحق وقابلية التتبع.

فحص نظام التحكم: فحص نظام التحكم في الفرن بانتظام ، بما في ذلك مكونات مثل وحدة التحكم في درجة الحرارة وجهاز التوقيت ، للعمل المناسب. اختبر حساسية ودقة كل زر تحكم وعرضه للتأكد من أن المشغل يمكنه تعيين ومراقبة معلمات تشغيل الفرن بدقة. إذا تم اكتشاف أي تشوهات ، فاتصل بالفنيين المحترفين على الفور للإصلاح والتصحيح.

رابعا. إيقاف التشغيل الموحد وإعادة تشغيل الصيانة

Long - أوقف إيقاف التشغيل: إذا كان من الضروري إيقاف فرن أشباه الموصلات لفترة طويلة ، وقم بتنظيف وتجفيف داخليًا تمامًا وفصل إمدادات الطاقة. لمنع دخول الغبار والرطوبة ، قم بتغطية الفرن بإحكام مع غطاء الغبار. بشكل دوري (يوصى به أسبوعيًا) ، قم بتشغيله لمدة 1 - ساعتين للحفاظ على أداء مستقر للمكونات الكهربائية الداخلية ومنع الخلل بسبب عدم النشاط على المدى الطويل.

التوصية: قبل التوصية بالفرن الذي تم إيقافه لفترة طويلة ، فحص جميع المكونات. ويشمل ذلك تنظيف الداخلية مرة أخرى ، والتحقق من الاتصالات الكهربائية ، واختبار نظام التدفئة وتشغيل المروحة ، وما إلى ذلك. قم بتشغيل الوحدة دون حمولة لفترة من الوقت لمراقبة ما إذا كانت درجة الحرارة والرطوبة طبيعية. فقط بعد التأكد من عدم وجود تشوهات يمكن استخدامها.