درجة حرارة سطح آلة تشكيل الفراغ آلة طلاء الحزمة الإلكترونية تتناسب مع كثافة شعاع الإلكترون

درجة حرارة سطح آلة تشكيل الفراغ آلة طلاء الحزمة الإلكترونية تتناسب مع كثافة شعاع الإلكترون

تتناسب درجة حرارة سطح الأفلام والأجزاء المصنعة مع شدة شعاع الإلكترون. يمكن التحكم في شدة شعاع الإلكترون عن طريق التحكم في تدفق التيار إلى الفتيل ، وبالتالي التحكم في درجة حرارة سطح مادة الأغشية الرقيقة والأجزاء المُشكلة.

آلة تشكيل الفراغ تحتاج آلة طلاء الحزمة الإلكترونية إلى التسخين المسبق للفتيل أولاً

عندما يعمل مغطي شعاع الإلكترون ، يجب تسخين الفتيل أولاً. تيار التسخين المسبق للفتيل هو 60-90 A ، ووقت التسخين المسبق أكثر من 20 دقيقة. بعد تسخين الشعيرة ، تزداد الطاقة الكامنة للإلكترونات في الفتيل (الكاثود) استعدادًا لانبعاث الإلكترونات. في هذا الوقت ، عندما يكون الجهد 20KV] JI ~ (2) قيد التشغيل ، يبدأ الخيط (الكاثود) في إصدار الإلكترونات تحت تأثير المجال الكهربائي. في ظل العمل المشترك لنظام التركيز وملف الانحراف والجهد المتسارع ، يتم تجميع الإلكترونات المنبعثة من الشعيرة (الكاثود) في حزمة وتنبعث إلى مادة الفيلم أو جزء منه ليتم معالجته بسرعة عالية جدًا.

تدابير لتحسين طبقة الفيلم لمعدات الطلاء بالفراغ:

(1) خبز بعد الطلاء. بعد طلاء الطبقة الأخيرة من الفيلم ، لا تتوقف عن الخبز على الفور ، واستمر في "التهدئة" لمدة 10 دقائق. اجعل هيكل الفيلم أكثر استقرارًا.

(1) يتم تمديد وقت التبريد بشكل مناسب ، ويتم إجراء عملية تقادم التلدين. تقليل الإجهاد الحراري الناجم عن الاختلاف المفرط في درجات الحرارة بين داخل وخارج غرفة التفريغ.

(2) أثناء عملية التبخر للفيلم عالي الانعكاس وفيلم المرشح ، يجب ألا تكون درجة حرارة الركيزة عالية جدًا ، كما أن درجة الحرارة المرتفعة سهلة لتوليد الإجهاد الحراري. وله تأثير سلبي على الاستقرار البصري لأكسيد التيتانيوم وأكسيد التنتالوم ومواد الفيلم الأخرى.

(3) عملية الطلاء بمساعدة الأيونات لتقليل الإجهاد.

(4) حدد نظام الفيلم المناسب للمطابقة ، والمطابقة بين الطبقة الأولى من مادة الفيلم والركيزة. (على سبيل المثال ، يستخدم الفيلم المضاد للانعكاس المكون من خمس طبقات Al2O 3- ZrO 2- Al2O 3- Al2O 3- ZrO 2- MgF2 ؛ يمكن لـ ZrO2 أيضًا استخدام SV -5 (مادة فيلم مختلط ZrO2 TiO2) أو مادة أخرى مختلطة ذات معامل انكسار عالي.

(5) تقليل معدل التبخر بشكل مناسب (Al2O 3-2. 5A / S ؛ ZrO 2-3 A / S ؛ MgF 2-6 المعدل المرجعي A / S)

(6) جميع مواد فيلم الأكسيد مملوءة بالأكسجين ومطلية بشكل تفاعلي ، ويتم التحكم في كمية الأكسجين المتناول وفقًا لمواد الأفلام المختلفة.

www.superbheater.com