هيكل وخصائص الأغشية الرقيقة TiCN المحضرة بواسطة رش الفضة بالفراغ

هيكل وخصائص الأغشية الرقيقة TiCN المحضرة بواسطة رش الفضة بالفراغ

تم تحضير أغشية TiCN الرقيقة على ركائز فولاذية عالية السرعة M2 من خلال أهداف الجرافيت المتخرقة وأهداف التيتانيوم تحت جو مختلط من النيتروجين والأرجون. تم الكشف عن صلابة الفيلم الرقيق TiCN، وتم استخدام طريقة المسافة البادئة وطريقة الخدش لتقييم حالة الترابط للفيلم الرقيق والركيزة. تم إجراء اختبار القطع لصنبور الأغشية الرقيقة TiCN للتحقق من متانة الأغشية الرقيقة TiCN. أظهرت النتائج أن ذرات C في فيلم TiCN موجودة في شكل محلول صلب في شبكة TiN، واتجاه فيلم TiCN على المستوى البلوري (111) أضعف بكثير من اتجاه فيلم TiN، وكسر فيلم TiCN عبارة عن هيكل طويل، وبعده الجانبي أكبر من فيلم TiN. الفيلم صغير، وسطح فيلم TiCN غير متساوي. تبلغ قوة الترابط بين فيلم TiCN والركيزة حوالي 40 نيوتن. ذرات C في فيلم TiCN لها تأثير تقوية المحلول الصلب وتعزيز صقل الحبوب. تمت زيادة صلابة فيلم TiCN من 20.3 إلى 33.4 جيجا باسكال لفيلم TiN. يتمتع فيلم TiCN بخصائص جيدة مضادة للاحتكاك، كما أن عمر خدمة صنابير فيلم TiCN عند النقر على مادة 40Cr أطول بكثير من عمر صنابير فيلم TiN والصنابير غير المطلية.

تحضير الأغشية الرقيقة TiCN بواسطة مصدر C الصلب المطلي بالفضة

في الوقت الحاضر، تستخدم معظم طرق PVD CH4 أو C2H2 كمصدر C لتحضير الأغشية الرقيقة TiCN. أثناء عملية التحضير، يمكن الحصول على أغشية رقيقة من TiCN بنسب محتوى عناصر مختلفة وخصائص مختلفة عن طريق ضبط نسبة تدفق الغاز. ومع ذلك، فإن المشكلة في هذه الطريقة هي أن غاز مصدر الكربون الزائد سوف يسبب تلوثًا خطيرًا للهيكل الداخلي لجسم فرن آلة الطلاء، وسيتم إطلاق الطبقة السائبة من الكربون المتبقية على جدار الفرن أثناء عملية الطلاء التالية، والتي سوف تتداخل مع جو الترسيب للفيلم. الإنتاج المستمر غير مناسب، وغالبًا ما يؤدي إلى أداء غير مستقر لقطع العمل ذات الأغشية الرقيقة في الإنتاج الصناعي.

www.superbheater.com