الطريقة الفيزيائية لآلة الطلاء بالفراغ

الطريقة الفيزيائية لآلة الطلاء بالفراغ

1. تشير تقنية ترسيب البخار الفيزيائي إلى طريقة تبخير مادة الطلاء إلى ذرات أو جزيئات أو تأينها إلى أيونات في ظل ظروف الفراغ ، باستخدام طرق فيزيائية مختلفة ، وترسيبها مباشرة على سطح الركيزة.

2. تقنية ترسيب البخار الكيميائي هي طريقة لتزويد الغازات الأولية أو المركبات التي تحتوي على العناصر التي تشكل الفيلم إلى الركيزة ، وعن طريق عمل الطور الغازي أو التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة ، طريقة صنع المعدن أو المركب تشتمل الأفلام الموجودة على الركيزة بشكل أساسي على ترسيب البخار الكيميائي للضغط الجوي. ، ترسب بخار كيميائي منخفض الضغط وترسيب بخار كيميائي في البلازما بخصائص CVD و PVD.

مع تطور تكنولوجيا الطلاء ، ظهرت أنواع مختلفة من آلات الطلاء بالفراغ تدريجياً. بغض النظر عن نوع آلة الطلاء بالفراغ ، فإن توحيد الفيلم سوف يتأثر ببعض العوامل. الآن ، نستخدم المغطي بالفراغ المغناطيسي لتحليل عوامل تشكيل الفيلم غير المتكافئ.

آلية آلة الطلاء بالفراغ هي ناقل حركة جامد

بالمقارنة مع آلية النقل المتسلسل ، فإن الآلية عبارة عن ناقل حركة صارم ، ولا توجد مشكلة في التشبيك غير الدقيق. في الوقت نفسه ، نظرًا لصغر مساحة الانتقال المطلوبة ، يمكن توفير وقت تبديل الصمام بين غرف التفريغ ، كما يمكن تقليل الجو بين غرف التفريغ المختلفة. متشابك. لذلك ، تم تحسين استقرار وموثوقية عملية الطلاء ، وإنتاجية المنتجات النهائية ، واستهلاك الطاقة والتكلفة بشكل كبير.

الطرق الشائعة لطلاء كربيد الأسمنت لآلة طلاء الفراغ

الطريقة الشائعة لطلاء كربيد الأسمنت هي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بدرجة حرارة عالية (طريقة HTCVD للاختصار) ، وهي ترسيب H2 و CH4 و N2 و TiCl4 و AlCl3 و CO2 والغازات أو الأبخرة الأخرى في نظام الترسيب تحت الضغط العادي أو ضغط سلبي. ، وفقًا لتكوين الرواسب ، قم بخلط الغاز ذي الصلة بالتساوي في نسبة معينة ، وقم بتطبيقه على سطح شفرة كربيد الأسمنت عند درجة حرارة معينة (بشكل عام 1000 درجة مئوية ~ 1050 درجة مئوية) بدوره ، أي ، إيداع TiC ، TiN ، Ti (C ، N) أو Al2O3 أو طبقاتها المركبة.

www.superbheater.com